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在真空的世界里，也有一对不离不弃的“超级情侣”。我们习惯称这对超级伴侣为前级真空泵和高真空泵。前级泵必须满足特定的抽气速度和极限真空，并且可以持续的无故障长时间运行，高真空泵极限真空极高，只有分子泵才能有此能力。前级泵和分子泵相生相伴，在电子显微镜、质谱以及领域做出了的贡献，推动了科学仪器行业的飞速发展。

为什么分子泵和前级泵是天作之合？分子泵需要配置前级泵, 而不是直接在大气压下工作. 我们都知道涡轮分子泵必须在分子流状态下工作才能显示出它的优越性。分子泵输送气体应满足两个必要条件：1涡轮分子泵必须在分子流状态下工作；2分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。分子泵的转速越高，对提高分子泵的抽速越有利；

在纯粹涡轮分子泵的情况下, 由于其分子流,需要的前级真空大约为为 5～10^-2mbar。所以需要前级泵来预抽，如果不预抽的话,直接启动分子泵, 由于形成的压缩比太大容易把分子泵叶片损坏，这就是为什么分子泵需要前级泵的主要原因。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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随着真空泵使用范围越来越广，了解其相关参数对于之后的生产工作的展开十分重要。1、抽气速率(体积流率)：当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。即在一定的压力、温度下，真空泵在单位时间内从被抽容器中抽走的气体体积。

极限压力(极限真空)：泵装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的比较低压力。即真空泵的入口端经过充分抽气后所能达到的比较低的稳定的压力。 3、起动压力： 泵无损坏起动并有抽气作用的压力 4、前级压力： 排气压力低于一个大气压力的真空泵的出口压力。 5、比较大前级压力： 超过了能使泵损坏的前级压力。

比较大工作压力：对应比较大抽气量的入口压力。在此压力下，泵能连续工作而不恶化或损坏。 抽气量： 流经泵入口的气体流量。 压缩比： 泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。分子真空泵主要是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使气体分子获得定向运动的速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵牵引分子真空泵，气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。

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近日，真空推出了一款新型涡轮分子泵，便是对此交出的一份答卷。这款分子泵的寿命更长，而且采用了该公司开发的一项技术，使得真空设备更加耐用，振动水平更低，噪音更小。真空的涡轮分子泵.具体来讲，通过分配几何确定的动平衡孔和渐近的动平衡配重法，利用激光烧蚀把多余的材料去除，如此一来，转子的不均匀质量分布能够在所有点位逐个进行的处理，来达到很佳的动平衡性。

与传统动平衡相比，用激光去除材料要准确得多，剩余不平衡会更低。而且在这个过程中，材料特性并不会受到影响。可以说，改变了传统的动平衡过程，将不均匀的质量分布降到了很低。采用传统动平衡（左）和采用激光烧蚀段的激光动平衡（右）动平衡等级对比.据了解，通过现代化的自动平衡系统，涡轮分子泵转子的动平衡品质提高了20%，从而大幅提高转子寿命，并降低泵在运行期间的振动和噪音水平。

值得一提的是，激光烧蚀产生的颗粒，在加工过程中即可抽出和过滤掉，随后对激光平衡后的转子进行清洁，由于无需手动拧紧螺丝，所以确保了表面的很高清洁度，并且也避免了平衡孔中的气穴造成的虚漏现象。因此，用技术加持的涡轮分子泵可以满足更为苛刻的工作环境要求，尤其是在需要更低振动和静音的应用中，该系列涡轮分子泵可以大大提升用户体验。

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